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板式PECVD上下料機

產(chǎn)品特點(diǎn)

最高產(chǎn)能可達到6000pcs/h 

可根據客戶(hù)需求進(jìn)行定制 

設備結構簡(jiǎn)單穩定

技術(shù)參數

技術(shù)參數相關(guān)參數
產(chǎn)速 4000 /6000 pcs/h(可訂制)
碳框尺寸 

10*10(5*5,5*6,8*10,9*10 可選)

硅片尺寸 

166mm-210mm

碎片率  ≤0.02%
開(kāi)機率≥98%
功率15kW
耗氣量500L/min
具體參數如有變動(dòng),本公司不另行通知!
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